Россия освоила выпуск 60 ключевых материалов для микроэлектроники

За последние три года в России запущено производство порядка шести десятков критически важных позиций материалов и химической продукции для микроэлектроники. Об этом на форуме «Микроэлектроника-2026» рассказал первый вице-премьер Денис Мантуров. По его словам, к 2029 году планируется вывести на рынок еще примерно столько же наименований.

В фокусе импортозамещения — вещества и компоненты, без которых невозможна сборка современных микросхем. Речь идет о высокочистых и специальных газах, фоторезистах, антиотражающих покрытиях, особо чистых растворителях и прекурсорах — исходных химических веществах, используемых для получения более сложных соединений. Всего в отрасли сейчас ведется более ста разработок в области оборудования, материалов, специальной химии и средств автоматизированного проектирования для микроэлектроники.

Оборудование и технологические линии

Параллельно с материалами развивается и собственное производственное оборудование. Россия переходит к серийным поставкам первого отечественного фотолитографа с разрешением 350 нм. Совместно с Белоруссией изготовлен опытный образец установки на 130 нм, для которой разработан собственный эксимерный лазер.

В Зеленограде завершается создание научно-технологического центра по выпуску фотошаблонов с поэтапным освоением топологических норм вплоть до 28 нм. Для других стадий производственного цикла уже созданы российские системы плазмохимического травления и осаждения.

Рынок и спрос

Как отметил Денис Мантуров, в 2025 году закупки российской электроники на регулируемом рынке выросли на 13% до 750 млрд руб., а доля отечественной продукции достигла почти 65%. Дополнительный спрос, по оценке первого вице-премьера, сформирует переход субъектов критической информационной инфраструктуры на отечественные доверенные решения.